de contact şi prin dimensiunea

[dream_taker]

De ce de contact şi prin intermediul au dimensiunea exactă (spun == 0.22um), dar nu ca dimensiune minimă de metal 1 ar trebui să fie> 0.23um (doar am dat numere. Ea poate fi in orice tehnologie).Există vreun motiv specifice pentru ea?

 

[sergeyr77]

Acest lucru se datorează randamentul probleme.De fapt acesta este dimensiunea minimă de deschidere.
PS.Dacă aveţi nevoie de mai multe contact / prin zona (pentru reducerea căderea de tensiune pe el, pentru problemele elecromigration etc numărul icrease) de contacte.
Last edited by sergeyr77 pe 23 februarie 2005 10:16; editat 1 dată în total

 

[dream_taker]

Dar ei dont a da în norma de design care sa o min.măsură.Aceştia menţionează care le-a dimensiunea exactă.Dacă problema sa randament atunci ea poate fi dimensiunea minimă, mai degrabă decât dimensiunea exactă.Poate cineva sa-au ABT idee această regulă?

 

[dreamteam]

Acest lucru trebuie să fie exacte mărime, deoarece numai în cazul în care a spus că este de dimensiune minimă, ai putea face o mare prin intermediul (ne putem imagina 1u/1u).În acest caz, stresul de metal va fi prea importantă şi poate avea efecte negative asupra design.În toate fundary, prin intermediul au dimensiunea exactă.

 

[uladz55]

Nu e doar problema metall stres.
Dacă aveţi CONTs şi VIAS cu diferite dimensiuni, puteţi obţine peste-gravură problema pentru CONTs şi VIAS cu dimensiuni mai mici şi structura daune.

 

[okguy]

Dacă aveţi relaţii bune cu Fab napolitane, aveţi posibilitatea să val este de a reduce rezistenţa acestora pentru unele aplicare critice.
Dar, apoi, el devine în conformitate cu al tău own risc şi de control!

 

[Colbhaidh]

Pentru tehnologiile 0.35um şi mai mici, de contact şi dimensiunile Via sunt, de obicei exactă.Acest lucru se datorează faptului că a procesului.Procesul în sine poate varia în funcţie de mărimea de contact, dar numai cu circa /-0.05um.Acest lucru se datorează modului planarisation globale (CMP) este folosit pentru dielectrice de metal inter şi formarea de contact şi prin intermediul prize de tungsten.
Daca varia dimensiunea în afara normelor de proiectare, aceasta ar avea implicaţii severe pentru procesul de plug de tungsten - de exemplu, este posibil să nu funcţioneze deloc.Unii foudries vă permit să schimbaţi dimemsion într-o singură direcţie, cu toate că nu aş sfătui că, deoarece acest lucru poate cauza probleme de randament (în afară de la marginea sigiliu muri).

 

[okguy]

Ai dreptate.De 2 ori am facut-o doar a fost o extindere în 1 direcţie şi mult mai puţin decât de două ori pe dimensiunea de contact.Dar, aceasta a ajutat la mai mică rezistenţă de contact.

 

[kwkam]

În zilele noastre tehnologie, prin intermediul şi de contact sunt exact dimensiunea sunt din cauza de control al procesului şi problema de randament.Cu toate acestea, în unele proces vechi bipolare.prin intermediul şi de contact pot fi varia.